見所智，行所能，見行AGV，12年資深A(yù)GV專業(yè)團(tuán)隊，定制非標(biāo)AGV及工業(yè)軟件！
見行智能提供的潔凈室AGV適配Class100級潔凈環(huán)境（每立方英尺空氣中0.5微米以上顆粒不超過100個），支持激光、SLAM等多種導(dǎo)航方式，可用于半導(dǎo)體車間物料轉(zhuǎn)運(yùn)。
防震措施主要通過機(jī)械設(shè)計與主動控制實現(xiàn)：
氣動隔振器：通過氣囊壓縮釋放吸收沖擊，自動調(diào)節(jié)氣壓適配不同晶圓重量，配合阻尼結(jié)構(gòu)消除共振，可將震動控制在低頻段有效阻隔。
主動減震系統(tǒng)：部分AGV搭載該系統(tǒng)，轉(zhuǎn)運(yùn)中振動控制在0.1g以下，防止光刻圖案位移。
結(jié)構(gòu)優(yōu)化：通過低振動技術(shù)，搬運(yùn)過程載具振動峰值不超過0.5G，重復(fù)精度誤差≤0.5mm。
| 技術(shù)類型 | 核心原理 | 震動控制效果 | 典型應(yīng)用場景 |
|---|---|---|---|
| 氣動隔振器 | 氣囊緩沖 + 自動氣壓調(diào)節(jié) | 吸收低頻震動（設(shè)備啟動/地面不平） | 外掛式晶圓搬運(yùn)設(shè)備頂部模組 |
| 主動減震系統(tǒng) | 傳感器實時監(jiān)測 + 動態(tài)補(bǔ)償 | ≤0.1g（避免光刻圖案位移） | 晶圓盒（FOUP）精準(zhǔn)對接設(shè)備 |
| 低振動結(jié)構(gòu)設(shè)計 | 優(yōu)化機(jī)械傳動與轉(zhuǎn)彎流暢性 | 振動峰值≤0.5G | 12英寸晶圓廠天車系統(tǒng) |
